质量流量计MS2500VA
Linetech公司采用先进设备和技术,推出了一系列高性能、可靠稳定的流量控制器产品,广泛应用于高端半导体设备,太阳能光伏设备,石油化工、 医药、食品与能源等领域。MS系列比M系列更为紧凑,但并不牺牲性能。它适用于广泛的压力/温度条件,有着快速响应和高重复性的优点。MS2500VA是Line Tech推出的一款高精度的模拟式气体质量流量计,主要用于测量和控制气体流量,并且支持多种信号输出和供电方式。
MS2500VA质量流量控制器具有以下优点:
1、高精度低流量
2、响应速度快
3、紧密连接
4、高稳定可移动传感器
5、高度耐腐蚀性
6、线性好
7、稳定性好
8、压力范围广
具体工作指标输出如下所示:
型号
MS2500VA
范围(N2)
300slpm~1000slpm
准确性
满量程的±2%
重复性
±0.25%
输入/输出信号
0~5Vdc或4~20mA
供电
+15 或 +24Vdc,350mA
最大工作压力
<90 bar
最高工作温度
0~50℃
泄漏率
1X10 -9 atm.cc/sec
控制范围
3~100%
连接
“A”尺寸(毫米)
1/2" SW
209
3/4 "SW
210.6
1 "SW
217.6
产品类型:热式气体质量流量控制器
模拟式气体质量流量控制器
大流量气体质量流量控制器
腐蚀性气体质量流量控制器
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